 |
| Δραστηριότητες |
| Το Ινστιτούτο Μικροηλεκτρονικής του ΕΚΕΦΕ «ΔΗΜΟΚΡΙΤΟΣ» δραστηριοποιείται στην περιοχή της Μικροτεχνολογίας- Μικροσυστημάτων και στη δυναμικά αναπτυσσόμενη περιοχή της Νανοτεχνολογίας. Η επιστημονική και τεχνολογική προσπάθεια του Ινστιτούτου, στηρίζεται στην συμπληρωματική και εναρμονισμένη εξειδίκευση του επιστημονικού και τεχνικού προσωπικού του και υποστηρίζεται από ένα σύγχρονο καθαρό χώρο επεξεργασίας πυριτίου 300 m2 (μοναδικό στην Ελλάδα). Πιο συγκεκριμένα το ΙΜΕΛ εστιάζει τις ερευνητικές του δραστηριότητες σε τεχνολογίες σχηματοποίησης, νανοδομές ημιαγωγών, σχεδιασμό Ολοκληρωμένων Κυκλωμάτων, μοντελοποίηση διεργασιών και διατάξεων καθώς επίσης σχεδιασμό μοντελοποίηση, κατασκευή και έλεγχο αισθητήρων. |
| Προοπτική – Στόχοι |
| Οι έρευνα στις τεχνολογίες σχηματοποίησης αποσκοπεί στην ανάπτυξη καινούριων υλικών, διαδικασιών και μεθόδων προσομοίωσης, διαδικασιών για μικρο- και-νανο-κατασκευή χρησιμοποιώντας προηγμένη λιθογραφία και εγχάραξη πλάσματος. Οι δραστηριότητες της περιοχής νανοτεχνολογίας περιλαμβάνουν την ανάπτυξη νανοδομών χρησιμοποιώντας την μέθοδο «της προς τα άνω δόμησης» στην οποία «συλλέγονται» άτομα με μεθόδους όπως ανάπτυξη νανοκρυστάλλων με εναπόθεση χημικών ατμών χαμηλής πιέσεως (LPCVD), ανάπτυξη με επιταξία μοριακής δέσμης (MBE), σύνθεση ιοντικής δέσμης νανοκρυστάλλων πυριτίου και γερμανίου και τελικά με εναπόθεση μοριακών ημιαγωγών (οργανικών ή ανοργάνων). Η δραστηριότητα μοντελοποίησης των διεργασιών (TCAD) συμπεριλαμβάνει μοντελοποίηση σημειακών ατελειών και προσμίξεων και την επίδρασή τους στην απόδοση των διατάξεων. Ο σχεδιασμός ολοκληρωμένων διατάξεων αφορά στο σχεδιασμό και έλεγχο αναλογικών και μικτών αναλογικών-ψηφιακών κυκλωμάτων κυρίως για οπτοηλεκτρονικές εφαρμογές, όπως οδηγοί laser υψηλής ταχύτητας, ηλεκτρονικά ανάγνωσης ανιχνευτών και μοντελοποίηση της θερμικής συμπεριφοράς των VCSEL. Στην περιοχή των αισθητήρων οι δραστηριότητες περιλαμβάνουν μικρομηχανική επιφάνειας και μάζας (τεχνικές συγκόλλησης δισκιδίων και πορώδους πυριτίου) για την κατασκευή αισθητήρων πιέσεως, ροής αερίων και σχετικών διατάξεων. Επίσης συστοιχίες πρωτεϊνών διαμορφώνονται με βιοσυμβατή φωτολιθογραφία για βιοψηφίδες υψηλής πυκνότητας. Τελικά οπτικοί βιοαισθητήρες επιφανειακής μικρομηχανικής αναπτύσσονται με μονολιθική ολοκλήρωση οπτικών ινών, διοδικών πηγών φωτός (σε περιοχή διάσπασης) και ανιχνευτών στο πυρίτιο. |
|
|
